MOSFET 的構造
金屬-氧化物-半導體場效電晶體(MOSFET:Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)簡稱「MOS」,依照不同的導電特性又可以分為 NMOS、PMOS、CMOS 三種:
NMOS(N-type MOS):NMOS 的構造如 <圖(a)> 所示,在 P 型矽基板的左右各製作一個 N 型的區域(類似水溝的構造),並且在上方蒸鍍金屬電極;另外在矽基板的中央上方製作一層氧化矽,上方再蒸鍍一層金屬電極(目前大多使用多晶矽取代),中央的金屬稱為「閘極(Gate)」,左邊的金屬稱為「源極(Source)」,右邊的金屬稱為「汲極(Drain)」。 PMOS(P-type MOS):PMOS 的構造如 <圖(b)> 所示,與 NMOS 相同,但是 N 型與 P 型區域相反,因此導電特性相反。CMOS(Complementary MOS):CMOS 的構造如 <圖 (c)> 所示,由一個 NMOS 與一個 PMOS 組合起來形成一個 CMOS,是目前最常使用的一種主動元件。
閘極長度(Gate length)
閘極長度是所有構造中最細小也最難製作的,因此我們常常以閘極長度來代表半導體製程的進步程度,這就是所謂的「製程線寬」。閘極長度會隨製程技術的進步而變小,從早期的 0.18 微米、0.13 微米,進步到 90 奈米、65 奈米、45 奈米、22 奈米,到目前最新製程 10 奈米。當閘極長度愈小,則整個 MOS 就愈小,而同樣含有數十億個 MOS 的晶片就愈小,封裝以後的積體電路就愈小,最後做出來的手機就愈小囉!
MOS 開關(MOS switch)
NMOS 開關的工作原理如下圖 所示,將電子由左邊的源極(N 型水溝)注入,經過中央的閘極下方(P 型通道)以後,再由右邊的汲極(N 型水溝)流出,是否要讓電子通過,則由閘極「不加電壓(關)」或「施加電壓(開)」來控制:
閘極不加電壓:電子由左邊的源極(N 型水溝)注入以後,由於閘極下方為 P 型不導電子,故電子無法通過,形成斷路,代表 0,如 <下圖(a)> 所示。閘極施加電壓:電子由左邊的源極(N 型水溝)注入以後,由於閘極施加正電壓吸引下方 P 型矽晶圓中的少量電子浮到表面,形成含有電子的通道(Channel),電子沿著通道繼續前進,形成通路,代表 1,如 <下圖(b)> 所示。
我們就是利用閘極快速地「不加電壓(關)」或「施加電壓(開)」,來控制電子的「不導通」或「導通」,進行 0 與 1 的快速運算。一個積體電路(IC)含有許多的 MOS,就可以進行一大堆 0 與 1 的運算,這就是個人電腦與「數位積體電路」工作的基本原理,除了 NMOS 以外,PMOS 或 CMOS 都可以做為開關來使用,在此不再詳細討論。
MOS 放大器(MOS amplifier)
CMOS 開關與放大器
因為 CMOS 只有在處理數位訊號由 0 變 1 或由 1 變 0 時才會消秏電能(動態功率耗損),如果一直保持 0 或一直保持 1 時並不會消秏電能(靜態功率耗損),因此比單獨一個 NMOS 或 PMOS 還要省電,符合目前所有電子產品省電的要求,所以目前幾乎所有的積體電路(IC)實際上都是使用 CMOS 來製作,換句話說,目前的積體電路是:犧牲大小,成全省電。
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